単結晶シリコン加工技術

太陽電池に使用される単結晶シリコンウェーハには、一般に円形と正方形の 2 つの形状があります。円形のシリコンウェーハを例にとると、処理フローは次のとおりです。炉から単結晶シリコンを取り出し – 重量、直径、およびその他の外観特性のチェック – 分割 – 検査 – 洗浄 – 外径研削 – 検査およびグレーディング – スライス – 面取り – 洗浄 – ウェーハ研削 – 洗浄 – 検査 – 厚さ測定および分類 – 化学エッチング – 厚さ測定および検査 – 研磨 – 洗浄 – 再研磨 – 洗浄 – 電気的性能試験 – 検査 – 梱包– 保管場所。