単結晶シリコンの製造方法

単結晶シリコンの調製には、多結晶から単結晶への変換が必要です。つまり、原子が液相中のランダムな配列から規則正しい配列に、また非対称構造から対称構造に直接変換されます。この変換は全体的な影響ではありませんが、固体と液体の界面の動きを通じて徐々に達成されます。-この変態プロセスを達成するには、多結晶シリコンが固体シリコンから溶融シリコン、そして固体結晶シリコンへと変態する必要があります。これは、溶融シリコンから単結晶シリコンを成長させるためにたどらなければならない経路です。現在、最も広く使用されている方法は、チョクラルスキー法とるつぼを使用しない浮遊帯域溶融法の 2 つです。これら 2 つの方法で得られる単結晶シリコンをそれぞれ CZ シリコン、FZ シリコンと呼びます。